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Diagnostics phase gazeuse - Grenoble INP - SURGECO

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Diagnostics phase gazeuse

Publié le 7 novembre 2008
 
 

Les objectifs de ce thème sont les suivants : connaître la phase gazeuse pour contrôler le procédé et corréler aux résultats de dépôt ou de traitement de surface.

Problématique :

Adapter les techniques existantes (spectroscopies, chromatographie, sondes, ...) aux différentes configurations de réacteurs (dimension, type CVD, type PVD) et aux conditions de fonctionnement (pression, plasma ou non, ...).

Méthodologie :

  • Mesures en volume pour le contrôle du transport des particules (chimie en volume, énergie)
  • Mesures au voisinage de la surface pour la connaissance des éléments participant au dépôt ou au traitement de surface.

Identification des différentes techniques et domaines d'applications.

Identification des différents types de fonctionnement des réacteur.

Appel à contributions du thème

 

Coordinatrice
 
Caroline Boisse-Laporte, LPGP PDMAT
 
 
SURGECO
Laboratoire Science et Ingénierie, Matériaux et Procédés
Domaine Universitaire - 1130 rue de la Piscine
F-38402 - Saint Martin d'Hères - FRANCE
Tel : 33 (0)4.76.82.65.17
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